【標 題】:等離子吸收測量的光學路徑長度控制在
【作者單位】:山東濟寧東盛電子儀器有限公司
【內(nèi)容摘要】: 據(jù)微量元素分析儀探究一種電感耦合的氣態(tài)電子會議(GEC)細胞與修改的觀察口已被用來測量在原位吸收在CF [子4]等離子體通過傅里葉變換紅外光譜,其結(jié)果中得到一個標準的視口配置的那些相比。觀察口進行了修改,以便窗口邊界是在里面,而不是外部的GEC細胞。由于得到的吸收是線的視線集成吸收,測量代表吸收內(nèi)部和外部的等離子體物種的平均。這個修改,就減少這種空間平均,和中性的等離子體物種的濃度和溫度范圍內(nèi),從而允許更準確的估計。通過減少該路徑長度,我們發(fā)現(xiàn),表觀CF [子4]消耗增加,從65%至95%,振動的表觀溫度的CF [子4]上升50-75 K的表觀蝕刻產(chǎn)品餾分
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據(jù)微量元素分析儀探究一種電感耦合的氣態(tài)電子會議(GEC)細胞與修改的觀察口已被用來測量在原位吸收在CF [子4]等離子體通過傅里葉變換紅外光譜,其結(jié)果中得到一個標準的視口配置的那些相比。觀察口進行了修改,以便窗口邊界是在里面,而不是外部的GEC細胞。由于得到的吸收是線的視線集成吸收,測量代表吸收內(nèi)部和外部的等離子體物種的平均。這個修改,就減少這種空間平均,和中性的等離子體物種的濃度和溫度范圍內(nèi),從而允許更準確的估計。通過減少該路徑長度,我們發(fā)現(xiàn),表觀CF [子4]消耗增加,從65%至95%,振動的表觀溫度的CF [子4]上升50-75 K的表觀蝕刻產(chǎn)品餾分SIF [子4]從4%至2%的減小。這些數(shù)據(jù)表明,這些密度的變化可能是由于顯著的溫度梯度之間的血漿及室視口。 據(jù)發(fā)現(xiàn),通過等離子處理的流的字符是非常有凝聚力(幾段= 2.39)從區(qū)域轉(zhuǎn)移的凝聚力(FF = 3.19)。對于未經(jīng)處理的樣品,有效的內(nèi)摩擦角隨著固結(jié)應(yīng)力下降,而等離子體處理的高嶺石增加。
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